四探針低電阻率測(cè)試儀當(dāng)探測(cè)器具有適當(dāng)?shù)撵`敏度,電腦電阻的*百分比誤差是指臂A,B和N的百分比誤差總和。當(dāng)采用1 mV/分刻度的探測(cè)器靈敏度時(shí),500V電壓施加到電橋上,RN=1GΩ,電阻為1000TΩ將能產(chǎn)生一個(gè)分刻度的探測(cè)器偏移。假設(shè)忽略RA和RB的誤差,已知RN=1GΩ在±2%之內(nèi),同時(shí)電橋平衡在一個(gè)探測(cè)器分刻度,可采用±6%的*誤差來(lái)測(cè)量100TΩ的電阻。

四端測(cè)試法是目前較*之測(cè)試方法，主要針對(duì)高精度要求之產(chǎn)品測(cè)試；本儀器廣泛用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。

本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料之電導(dǎo)率。液晶顯示，無(wú)需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電導(dǎo)率單位自動(dòng)選擇，BEST-300C 材料電導(dǎo)率測(cè)試儀自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無(wú)需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成圖表和報(bào)表。

本儀器采用4.3吋大液晶屏幕顯示，同時(shí)顯示電阻值、電阻率、方阻、電導(dǎo)率值、溫度、壓強(qiáng)值、單位自動(dòng)換算，配置不同的測(cè)試治具可以滿足不同材料的測(cè)試要求。測(cè)試治具可以根據(jù)產(chǎn)品及測(cè)試項(xiàng)目要求選購(gòu).

提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇，滿足國(guó)內(nèi)及國(guó)外客戶需求

四探針低電阻率測(cè)試儀直接測(cè)量:

 電流計(jì)-電壓表——采用電流計(jì)-電壓表方法測(cè)量電阻的*百分比誤差是電流計(jì)指示性,電流計(jì)可讀性和電壓表指示性的百分比誤差總和。一個(gè)示例是:當(dāng)500V施加到40GΩ電阻時(shí)(電導(dǎo)為25pS),靈敏度為500/pA刻度的電流計(jì)將偏離25個(gè)刻度。如果偏離可讀取到接近0.5個(gè)刻度時(shí),同時(shí)校準(zhǔn)誤差(包括埃爾頓頓分流誤差)為觀測(cè)值的±2%,最終的電流計(jì)誤差將不超過(guò)±4%。如果電壓表誤差為±2%的滿刻度,當(dāng)電壓表讀取滿刻度時(shí),可采用±6%*誤差來(lái)測(cè)量該電阻值;同時(shí)當(dāng)讀取1/3的滿刻度時(shí),可采用±10%*誤差來(lái)測(cè)量該電阻值。要求讀取接近滿刻度是容易顯而易見(jiàn)的。

1. 便于查看的顯示/直觀的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD顯示；操作易學(xué)，直觀使用；

2. 基本設(shè)置操作簡(jiǎn)單，方阻、電阻、電阻率、電導(dǎo)率和分選結(jié)果；多種參數(shù)同時(shí)顯示。

3. 精度高：電阻基本準(zhǔn)確度： 0.05％；方阻基本準(zhǔn)確度：3%；電阻率基本準(zhǔn)確度：3%

4. 整機(jī)測(cè)量最大相對(duì)誤差：≤±3%；整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度：≤±3%

5. 四位半顯示讀數(shù)；八量程自動(dòng)或手動(dòng)測(cè)試；

6. 測(cè)量范圍寬： 電阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向電流源修正測(cè)量電阻誤差

8. 恒流源：電流量程分為： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六檔；儀器配有恒流源開(kāi)關(guān)可有效保護(hù)被測(cè)件，即先讓探針頭壓觸在被測(cè)材料上，后開(kāi)恒流源開(kāi)關(guān)，避免接觸瞬間打火。為了提高工作效率，如探針帶電壓觸單晶對(duì)材料及測(cè)量并無(wú)影響時(shí)，恒流源開(kāi)關(guān)可一直處于開(kāi)的狀態(tài)。

9. 可配合多種探頭進(jìn)行測(cè)試；也可配合多種測(cè)試臺(tái)進(jìn)行測(cè)試。

10. 校正功能：可手動(dòng)或自動(dòng)選擇測(cè)試量程 全量程自動(dòng)清零。

11. 厚度可預(yù)設(shè)，自動(dòng)修正樣品的電阻率,無(wú)需查表即可計(jì)算出電阻率。

12. 自動(dòng)進(jìn)行電流換向,并進(jìn)行正反向電流下的電阻率(或方塊電阻)測(cè)量,顯示平均值.測(cè)薄片時(shí),可自動(dòng)進(jìn)行厚度修正。

13. 雙電測(cè)測(cè)試模式，測(cè)量精度高、穩(wěn)定性好.

14. 具備溫度補(bǔ)償功能，修正被測(cè)材料溫漂帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果偏差。

15. 比較器判斷燈直接顯示，勿需查看屏幕，作業(yè)效率得以提高。

3檔分選功能：超上限，合格，超下限，可對(duì)被測(cè)件進(jìn)行HI/LOW判斷，可直接在LCD使用標(biāo)志顯示；也可通過(guò)USB接口、RS232接口輸出更為詳細(xì)的分選結(jié)果。

16. 測(cè)試模式：可連接電腦測(cè)試、也可不連接電腦單機(jī)測(cè)試。

17. 豐富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制。U盤可記錄測(cè)試數(shù)據(jù)

18. 軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存、各點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)；可供用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。

標(biāo)配：測(cè)試平臺(tái)一套、主機(jī)一套、電源線數(shù)據(jù)線一套。

電壓表-電流表——計(jì)算值的*百分比誤差是指電壓Vx,Vs和電阻Rs的百分比誤差的總和。與特定方法相比,Vs和Rs的誤差通常更取決于采用設(shè)備的特征。確定Vs誤差的最關(guān)鍵因素是指示器誤差,放大器零漂移和放大器增益穩(wěn)定性。采用新式精心設(shè)計(jì)放大器或靜電計(jì),增益穩(wěn)定性通常不是關(guān)注的問(wèn)題。采用現(xiàn)有的技術(shù),直流電壓放大器或靜電計(jì)的零漂移不能夠排除,但是可以將之足夠低而成為這些測(cè)量的相對(duì)不關(guān)鍵因素。只要精心設(shè)計(jì)換流器型放大器,零漂移實(shí)際上不存在。因此,假如電位計(jì)電壓精確已知的話,圖X1.2(b)的零位法理論上比采用指示器的方法誤差更小。Rs的誤差取決于放大器靈敏度。當(dāng)在給定電流下測(cè)量時(shí),放大器靈敏度越高,較低值可能性越大,此時(shí)可使用高精密線纏繞標(biāo)準(zhǔn)電阻器。放大器可以獲得。已知精確到±2%的100GΩ標(biāo)準(zhǔn)電阻是可以適用的。當(dāng)施加500V時(shí),如果放大器或靜電計(jì)的10mV輸入能提供滿刻度偏移,誤差不大于2%的滿刻度,則可采用6%的*誤差(當(dāng)電壓計(jì)讀取滿刻度時(shí))或10%的*誤差(當(dāng)電壓計(jì)讀取1/3刻度時(shí))來(lái)測(cè)定5000TΩ的電阻。